第108章：创新
长胜投资集团开过动员会之后，相关各单位就立刻行动起来。他们还是选择长胜精工的实验车间为研发基地，因为目前只有这里，才有⾼精度的机加工能力，也只有这里，才符合这些设备安放的条件。
郭东算是这里的地主，于是他就自然而然的成为此次研发任务的领头人。虽然他们已经成立了立独的机械研究院，但他们还在这里办公，也可以称得上是主人。
还是老规矩，研发之前先开会，郭东作为主人在椭圆形的会议桌档头，其他人就分列两边。这个位置平常是老板坐的，今天他能坐这个位置开会，郭东感到很奋兴。“咳咳”他首先清了清嗓子，才用愉快的语气说道：“各位导领，我们先做一下简单的分工怎么样？”
“怎么分工呢？”化学研究所的王波和他
，因此他先开口问道。
“我是这样想的，两样设备，我们分作两组讨论。
据所占的技术比重，我们每组选出一个领头的。
首先，光刻机研制组。由我们、软讯公司、电子研究所、光学研究所、化学研究所负责研制，这个设备我们所占比重最多，我就领头，大家认为怎么样？”
卢汝成和洪涛两人，本来以前就是他的部下，因此他们俩人都没有反对。光学研究所和化学研究所，说实话在光刻机中所占的技术比重真不大，因此他们也没有反对。
“同意”几个人都表示赞同。
“那好，光刻机研究组就这么定了，待会儿我们再开会具体的讨论技术细节。至于离子注⼊机，则纯粹是一个物理原理，我提议由物理研究所导领研制，大家认为怎么样？”
郭东又提出了离子注⼊机研制组的负责人人选，没办法，谁让他坐在主席位呢？他不牵头他肯定其他人都不会说。
这次就没有人出言支持他了，但也没有人反对。等了几分钟，郭东见没有人发言，就接着说：“那就这样吧！我们分开讨论。你们放心，离子注⼊机研制组，我们也会派机械工程师参加的。”
说完他就站起来，然后对在坐的其它几位负责人说道：“卢总、王所长、洪所长、胡所长我们到隔壁的办公室去讨论具体的技术细节吧！你们的位子让你们的技术员填补。我们两边分开讨论，互不⼲扰。”
“郭院长有令，我一定坚决执行。”洪涛开了个小玩笑，然后他也站起来对坐在旁听席的张东方说：“张东方，你来代替我坐这里开会。”
“哈哈”在座的人都发出了善意的笑声，手上也没有闲着，其它几位也找了人代替自己。只有郭东的手下例外，他没有坐郭东的位子，而是坐到会议桌离主席位最远的位子。他有自知之明，知道那个位子不是他坐的。
物理研究所的所长叫王卫红，凭他的名字，一看就知道是60年代出生的人。他是后来沈丹青对研究所的改⾰，而竞选成功的。说实话，他的资历是在座的负责人当中是最低的。但他初生牛犊不怕虎，否则也不可能竞选成功。他等郭东他们几位走后，就转到主席位坐定说道：“虽然我知道我资历最浅，但事情总得有个挑头的，大家又没有反对，我就厚颜当这个组长了。”
“啪啪啪！”这时，会议桌上的人开始有人给他鼓掌了，都是刚刚代替的人，他们不是一个级别，因此没有人觉得不妥，反而觉得他很有魄力。
离子注⼊机研制组的人虽然不太齐心，但总算是开了一个头。另一边的郭东几人来到郭东他的办公室后，郭东请他们落坐，然后亲自为他们泡了茶。
“郭院长，客气啦！客气啦！还劳你亲自泡茶。”王波接过郭东的茶，嘴上客气道。
“这不是应该的吗？难道我去你那里你还不给我泡茶。”郭东也客气的回应。
卢汝成和洪涛则大大咧咧，就像理所当然的一样接过茶就喝，他们在一起共事几年了，早就没有了生疏感。只有光学研究所的胡所长比较拘谨，他也是新竞选上来的，而其他几位则是老板亲自提拔的，因此他自认⾝份比他们低一头。
“嗯！”郭东哼了一声，就开始讲话了：
“光刻机据我的了解，我们已经将前期的技术难点已经解决了，在别人看来很难的问题，我们就只要组装了，唯一⿇烦的是后期的实验数据采集，但没有难度了，只是要花时间。”
讲到这里，他就问卢汝成：“卢总，数控部分，你们能解决吧！”
“没问题，这个数控系统比数控机
简单多了，只有几个直线动作和机械臂的输送动作的协调，我们几天就可以解决，只是数据采集要花点时间，我打算要学员们⼲，让他们历练历练。”卢汝成表示很简单，他还打算只要学员们⼲，当然他们得把关。
“那就好，你们没问题，就真的没问题了。我先和大伙说说我对光刻机的设想，据我所知，光刻机据曝光方法的不同分为：接触式、非接触式和聚焦式三种。
接触式是以前的老方法，缺点太大，我就不讲了。聚焦式虽然更先进，但难度也最大，我们目前还没有这个需要，可以做为以后的研究课题。为了赶时间，我打算这次就采取非接触式，符合我们目前的制程工艺，最⾼精度可以达到二十纳米以內，目前来讲完全⾜够了。相反，我们的
片设计还没赶上来，这次就只试制十六位元的片，精度只要达到u米级就够了，洪所长你们扯后腿了啊！”
郭东又开了洪涛的玩笑，不过这却是实情。洪涛也很无奈，片设计很复杂，需要大量的练人手。跟老板说得一样，要设计纳米级片，至少得有几千练电子工程师，否则想都不要想。
想到这些，洪涛接过话头说道：“目前我们只能设计一些简单的片，连32位元的片都要花大量时间才行，至少一年计，我们的练人手太少了，实在没办法。老板也知道我们是短板，因此我还被老板批过。唉！”
“好啦！既然老板已经批评了，我们就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑，然后正式说道：“非接触式光刻的技术要点就是
光头、掩模板还有基片要无限接近，最好只相差几个纳米，这样才能保证最大的精度。这是属于一种1:1投影技术或者说光刻技术，对掩模板的制作要求非常⾼，卢总，能不能将设计图进行电子图缩小？而不是光学缩小？”
“理论上是可以的，我们尽量想办法，也就是说我们本不搞纸质图纸了，直接用电子图纸投影曝光？”涉及到他的专业，卢汝成想也没想就回答了。
这时洪涛也获得了灵感，因此接过了话头说道：“我打算采用
晶投影技术，晶是一种分子级别的化合物，只要我们技术⾜够，那么控制精度可以无限小，我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小问题。我们就不走国外那套老路了，那样太复杂，而且精度不够。”
“也只有你才知道国外是怎么搞的，我们从来都是自己搞自己的，不也很好吗？只要我们达到了目的就够了。”
这时王波也揷话说道，他对国外是怎么搞的是真不懂，他的话没有半句⽔份。
“洪所长这个主意很好，这样电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。
“这样我们是不是可以取消掩模板呢？”
郭东提出了一个大胆的设想。
“当然不行，不能代替掩模板，因为晶屏是通过光的偏振原理，来实现图像显示的。它本就不可能实现，⾼精度光刻，不过我们可以试一试，让晶屏代替光刻机，给掩模板显影电子图形，如果能够做到，也是一种了不得的进步，能节省很多步骤。
不过我们必须研究出一种，对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候，又能有效的保护未被光照的镀铬层。”
“王所长，这点你们能解决吧！”洪涛先给郭东解释了晶原理，然后又问王波道。
“没问题。自从研究光刻胶以来，我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质，给掩模板用的光刻胶，我们已经研究出来了。效果怎么样？要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。
“那太好了，那我们就试试吧！”郭东动的说道
由于这次用途的特殊原因，他们不需要复杂的晶技术，只需要第一代晶技术，即tnlcd。就是简单的黑⽩屏，⽩光就是电路图，如果掩模板与晶屏隔得⾜够近的说，也可以留下満意的电路图形。
还有一点与普通的晶屏不同，这里的背景光源是強光源，他不是给人看的，而是专为掩模板曝光的。
当然缺点也很明显，由于晶分子的大小原因，精度不够，因此不适合纳米级片技术，这是他们后来经过实验，才明⽩这个道理的。
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